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portada MeV-Elektronenbestrahlung von Si-Heterostrukturen (in German)
Type
Physical Book
Author
Publisher
Language
German
Pages
180
Format
Paperback
Dimensions
22.9 x 15.2 x 1.0 cm
Weight
0.27 kg.
ISBN13
9786200995711
Categories

MeV-Elektronenbestrahlung von Si-Heterostrukturen (in German)

Sonia Kaschieva (Author) · Sergey N. Dmitriev (Author) · Verlag Unser Wissen · Paperback

MeV-Elektronenbestrahlung von Si-Heterostrukturen (in German) - Kaschieva, Sonia ; Dmitriev, Sergey N.

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Synopsis "MeV-Elektronenbestrahlung von Si-Heterostrukturen (in German)"

Die Erzeugung von Strahlungsdefekten durch hochenergetische MeV-Elektronenbestrahlung von n- und p-Typ Si-SiO2-Strukturen mit verschiedenen Arten von Oxiden wurde untersucht. Die Morphologieänderungen des SiO2-Oxids während der MeV-Elektronenbestrahlung wurden mittels AFM beobachtet. Es werden Si+-Ionen-implantierte Si-SiO2-Strukturen vor und nach MeV-Elektronenbestrahlung vorgestellt. Die Umverteilung von Sauerstoff- und Silizium-Atomen und die Erzeugung von Si-Nanokristallen während der MeV-Elektronenbestrahlung wurde mit RBS/C- bzw. AFM-Techniken beobachtet. Optische Eigenschaften, Photolumineszenz und spektroskopische Untersuchungen von SiOx-Filmen, die mit MeV-Elektronen bestrahlt wurden, werden ebenfalls durchgeführt.

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